電子半導體廠在線硅酸根分析儀 超純水監測是保障超純水（UPW）品質的核心設備，主要用于實時監測水中硅酸根離子（SiO?²?）的痕量殘留，防止硅污染導致的芯片良率下降，其檢測下限可至0~200μg/L，精度達±2%FS，并支持至多6通道檢測，通過實時硅離子數據反饋，可聯動水處理系統動態調整反滲透（RO）和離子交換工藝，確保硅含量≤0.1mg/L。

電子半導體廠在線硅酸根分析儀 超純水監測

儀器介紹

XT-SiO32-型在線硅酸根分析儀是一種基于光電比色法技術的智能水質監測儀器，可用于實時監測水體中硅酸根離子（SiO?2?或溶解態SiO?）的濃度，主要應用于電力與能源行業、化工與工業水處理、電子半導體與新能源行業等領域。具體包括監測電廠中鍋爐給水、蒸汽冷凝水中的硅酸根含量、石化冶金廠循環冷卻水硅含量監控、半導體超純水的硅含量檢測中。

技術特點

采用鼓氣式液壓加藥方式，可實現精確計量，測量誤差≤±2%FS；

冷光源分光測量，延長了光源的使用壽命；

支持自動校準、自動清洗、自動數據存儲及多通道檢測，減少人工干預；

無需預處理樣品，適合24h連續在線監測；

隔離的4～20mA電流輸出，通訊接口可選擇RS-485，便于接入自動化控制系統；

電子半導體廠在線硅酸根分析儀 超純水監測程序設計簡單，操作界面清晰，保證用戶能直接上手操作。

典型應用場景

半導體與電子制造

超純水監測

超純水系統中硅污染控制，硅表用于控制超純水的硅含量（≤0.1mg/L），保障芯片生產用水純度，避免硅污染影響芯片良率。

技術指標

產品型號：XT-SiO32-

測量范圍：0-200ug/L/ppb或0-2000ug/L/ppb

顯示方式：彩色液晶屏顯示，耐溫至80℃不變黑

精 確 度：±2%FS

重 復 性：不大于1%

穩 定 性：基線漂移：使用空白校準，不影響準確度

化學漂移：不大于1%讀數/月（視試劑穩定性而異）

試劑種類：3種

溫補范圍：0～60℃

運行條件：流量100—300mL/min，溫度5～50℃，壓力14Kpa，水樣不大于5微米（無膠狀物，無油脂）

環境溫度：0-45℃，85%RH不結露

繼 電 器：標配2組，可擴展6組，常開觸點

電流輸出：4～20mA輸出

數字輸出：RS-485數字通訊

供電電源：AC220V，50HZ

安裝方式：面板開孔/壁掛安裝